V。深宽比20:1。孔径5微米。侧壁粗糙度小于15纳米。
不依赖海外化学品配方专利。
全新的独立工艺路线。
陈星的翻页速度慢了下来。
他没有立刻说话，而是从头到尾把夏春秋的文档看了一遍。
文档写得很通俗，显然是专门为他这种非化学专业出身的人准备的，每一个技术参数后面都附了一句大白话解释。
但陈星看的不是那些大白话。
他看的是那组核心工艺参数。
TSV。硅通孔。
夏春秋手里这份文档，不是在硅片上打了一个全世界最直的洞那么简单。
这是一把钥匙，一把通向未来十年算力竞赛最核心赛道的钥匙。
陈星合上文档，抬起头看着夏春秋，非常严肃的问道：
“这份技术的参数还有谁看过？”
夏春秋看陈星表情严肃，也回过味来了，估计自己这条路线在陈总眼里有特殊的作用。
来的时候就说陈总的知识面非常广，看到这些东西估计就知道干什么用的。
现在看来，果然如此。
“核心化学分子工艺就我自己，我实验室那两个学生都是了解一部分。”夏春秋老老实实的回答道。
“一部分也不行。”陈星转头对沈颖喊道，“小沈，请红星安全总监张棱到我这里一趟，并同步给陆教授，林博士。”
“好的陈总，我这就去。”
这会甘良才心里是一万头草泥马，站也不是，坐也不是。
当然，也只能坐着，因为人家无冬大师一只手一直按着自己呢，生怕自己跑了。
早知道就听陈总的，先出去躲躲了。
因为看无冬大师的样子，接下来自己肯定是有得忙了。
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